一．产品特点
仪器管路经钝化处理，零死体积管路设计，等特殊工艺保证了系统的惰性，可靠性更高，使用寿命更长
进样预处理系统和切换阀均采用带吹扫保护气路的进口自动阀，可防止空气混入、提高系统的密闭性
配置气体分离专用微填充柱和高效毛细管柱，配合分离预切再分离技术，实现样品更高分离度
采用了先进的10/100M自适应以太网接口，实现全网络反控，工作站界面简单，数据处理功能强大。
采用成熟的多阀多柱，中心切割和反吹技术，国际先进的设计工艺，稳定可靠的高纯气体分析色谱技术解决方案
氦离子检测器
二．技术参数
◆温控系统
柱箱温度范围：室温+5℃～450℃
温度设定精度：0.01℃
温控数量：8路独立控温系统
程序升温速度：0.1～40℃/min
智能后开门：进出风量无级可调
降温速度：从350℃降至50℃＜7min
程序升温阶数：16阶（可扩展）
最长一次运行时间：999.99min
◆进样系统
控制方式：压力/流量控制
流量：气体最大流量为1000SCCM
灵敏度：0.01SCCM
输出偏移量（精度）：±5%
分流比：最大5000:1
电磁阀：高速切换电磁阀寿命长(10mS，100万次)
进样阀：可搭载多个进口自动控制阀，可自动序列运行
◆检测器及纯化器系统
检测气体类型：H2、Ar、O2、N2、CH4、CO、CO2等
放电模式：脉冲放电
基线噪声：≤0.05mv
基线漂移：≤0.2mv/30min
检测限：10ppb（甲烷）
重复性：RSD≤3%
可纯化气体：He、Ar、Ne、Kr、Xe等
最大操作压力：1000Psi
去除气体：H2、O2、N2、CO、CO2、CH4、H2O、NO、NH3等
残留浓度：≤10ppb
最低检测指标：
|
杂质： |
H2 |
O2 |
N2 |
CO |
CH4 |
CO2 |
C2H2 |
C2H4 |
C2H6 |
N2O等 |
|
PPB |
10 |
10 |
15 |
25 |
10 |
10 |
10 |
10 |
10 |
20 |
三．适用标准：
GB/T 16942-2009《电子工业用气体 氢》 GB/T 16943-2009《电子工业用气体 氦》
GB/T 16944-2009《电子工业用气体 氮》 GB/T 16945-2009《电子工业用气体 氩》
GB/T 14604-2009《电子工业用气体 氧》 GB/T 14601-2009《电子工业用气体 氨》
GB/T 15909-2009《电子工业用气体 硅烷》 GB/T 18994-2003《电子工业用气体 高纯氯》
GB/T 14851-93《电子工业用气体 磷化氢》 GB/T 14603-2009《电子工业用气体 三氟化硼》
GB/T 28125.1-2011《空分工艺中危险物质的测定》
四．典型谱图：
